水性去光阻剂_上海晨元电子材料公司

本产品是环保水性清洗剂，主要是用来取代传统使用之溶剂型去光阻剂，目前主要是应用于银、铝制程中，在光阻显影后，需将无效在晶圆上之光阻去除，而不能侵蚀到表面或侧面之金属，目前一般厂商使用之溶剂型去光阻剂去侵蚀产品，造成良率与亮度减低，本公司所研发此去光阻剂为水溶性，具备保护金属功能，兼具环保更佳的清洗效果。

主要功能

产品特点：

1.清洗效果较传统溶剂更佳。

2.室温下操作不需加热，使用方便。

3.油溶性不纯物不会回沾，清洗时效更长。

4.环保效益大于传统溶剂型。

5.表面金属损伤程度优于传统型。

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